社区

电子气体在半导体生产过程中的价值

更新时间:2021-11-25

  据上证报中国证券网消息,4月12日,广东华特气体股份有限公司(简称“华特气体”)首次公开发行股票并在科创板上市的申请已获上交所正式受理。据华特气体招股书显示,公司是一家致力于特种气体国产化,并率先打破极大规模集成电路、新型显示面板等尖端领域气体材料进口制约的气体厂商。公司主营业务包括特种气体的研发、生产及销售,辅以普通工业气体和相关气体设备与工程业务,并提供气体一站式综合应用解决方案。

  在以往的介绍中,我们了解了不少关于半导体生产的知识,知道了硅片对于半导体产业的价值。但或许你还不知道在半导体生产的过程中,电子气体的价值。据SEMI报告统计,2017年整体晶圆制造材料销售总金额分别为278亿美元,其中电子气体占14%,仅次于硅片。

  半导体工业用的气体统称电子气体。在半导体的生产过程中,从芯片生长到最后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体。电子气体成本占IC材料总成本的5%~6%。电子气体的纯度对芯片质量有很大的影响。

  电子气体按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊气体三大类。半导体特殊气体按纯度等级和使用场合,又可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。

  其中,高纯气体大多用于超大规模的集成电路及分离器件、光电子等高科技领域,包括氧气、氮气、氢气、氦气、氩气等(纯度通常都是大于99.999%)。特殊气体则主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺。该类电子气体主要分为氢化物(超纯氢、硅烷、磷烷等),氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等),碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙烷等)。

  根据SEMI的数据,全球电子气体市场规模2014年已达35亿美元,其中特殊气体约占65%。其中,又以美国空气化工(30%)、美国普莱克斯(20%)、日本昭和电工(15%)、英国BOC(已被德国林德集团收购,10%)和法国液化空气(5%)为首的五大气体公司占有全球80%以上的特殊气体市场份额。

  而在半导体特殊气体方面,我国还与国际厂商有着较大的差距。国内半导体行业使用的高纯电子特气几乎全部依赖进口。高纯度的气体在存储运输上存在着一定的技术难度。据相关数据显示,各个电子特殊气体竞争者无论从成本、价格、交货期上都相差不大,部分气体公司的主要优势在危险品保税仓库等物流服务和垄断性产品上。

  加之,我国半导体特殊气体所能供应的种类不全,使得相关大厂出于成本的考虑,也会将目光投向国际厂商。另外,我国本土气体公司多是由大化工行业或工业气体转型而来,其技术水平参差不齐,很难达到晶圆制造的要求,也成为了制约国内半导体特殊气体发展的要素之一。

  但是,由于近些年来,我国正在大力发展半导体行业,与半导体相关的产品在产值和规模上的潜力很大。这种市场机会,也为国内半导体特殊气体的发展带来了机会。

  国家 “十二五”期间重点实施《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目即 02 专项 “高纯电子气体研发与产业化”项目。根据 2013 年修订后的《国家产业结 构调整指导目录》(2011 年本),高纯电子气体及其下游产业均属于国家鼓励类项目;《国家集 成电路产业发展推进纲要》、《电子信息产业发展基金指南》《2014-2016 年新型显示产业创新 发展行动计划》等提出了一系列电子化学材料下游产业鼓励扶持政策。

  七一八所是国家“02专项”气体项目的牵头单位,相继研制出高纯三氟化氮、六氟化钨气体和三氟甲磺酸系列产品,并实现规模化生产,相关产品得到了中芯国际等半导体龙头企业的测试认证。据悉,七一八研究所特种气体材料已应用于国内90%以上的半导体厂,部分产品达到100%。在公司预计到2020年,高纯三氟化氮气体产能将达到12000吨/年、高纯六氟化钨气体产能将扩大至200吨/年、其他特种气体产能将达到3000吨/年。

  华特气体为国内首家打破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、Ar/F/Ne混合气、Kr/Ne混合气、Ar/Ne混合气、Kr/F/Ne混合气等产品进口制约的气体公司,并率先实现了近20个产品的进口替代,是中国特种气体国产化的先行者。目前,公司是我国唯一通过ASML公司认证的气体公司,亦是全球仅有的上述4个产品全部通过其认证的四家气体公司之一。

  浙江巨化股份有限公司及巨化集团公司拥有多种高纯电子气体生产所需的原料资源,如 HCl、HF、SiF4、F2、Cl2、CO2、CH2F2、CHF3、C2HF5、C4F8 等,为高纯电子气体发展提供了原料保障。3月16日,浙江省产权交易中心公开挂牌巨化股份旗下两大子公司浙江博瑞电子科技有限公司100%股权和浙江凯圣氟化学有限公司100%股权,打包价格9.4亿元。从巨化股份相关公告来看,本次交易两大子公司平台,无疑是为了其于2017年底合资设立的“中巨芯科技”铺路。根据巨化股份此前公告披露,公司拟联合国家集成电路产业投资基金公司等多家基金,共同出资设立合资公司“中巨芯科技”。

  博纯材料系中外合资企业,成立于2009年。博纯材料致力于为国际尤其亚洲半导体、LED、LCD和PV等市场提供高纯电子气体及相关应用设备,主营电子专业材料的研发与生产,相关产品皆拥有独立知识产权,是一家具有全新体制、生机勃勃的高新气体和化工材料公司。2018年,Entegris 与博纯材料进行了合作,在中国泉州开设了新工厂。此次活动标志着为半导体制造工艺中使用的特殊气体产品正式投入生产运营。博纯材料泉州工厂占地 55000 平方米,包括两个 2.3 级危险品库房以及 20 多个电子气体包装、纯化和合成工艺中心。该工厂可在国内制造世界上最先进的半导体离子注入材料。

  半导体行业涉及到方方面面,但是任何一个小点都至关重要。如同,我们进行呼吸一样,看似是很普通的一件事,却也是不可缺少的一件事。而这口气,对于半导体行业来说也同样重要。

  集微网消息,7月22日,苏州金宏电子专用气体项目在江苏南通苏锡通园区签署投资协议。苏州金宏气体股份有限公司成立于1999年,于2020年在科创板上市,是专业从事气体的研发、生产、销售和服务一体化解决方案的环保集约型气体综合供应商。主要客户包括联芯集成、华润微电子、华力微电子、京东方、三星电子、三安光电、住友电工等。苏锡通科技产业园区官方消息显示,苏州金宏电子专用气体项目的顺利落户,将极大促进电子半导体高端供应链国产化,为推动园区电子信息等主导产业转型升级奠定了扎实的基础。

  8月14日,国务院国资委发布消息显示,目前,中国化工黎明化工研究设计院(以下简称:黎明院)高纯四氟化碳和六氟化硫的年产能可达2000吨,价格与进口同类产品相当,但性价比高,可完全实现对进口产品的替代。中国化工集团有限公司今年6月消息显示,由中国化工黎明院承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”子项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”近日通过国家重大专项项目组的测试与评审,标志着我国极大规模集成电路行业所需高纯度含氟电子气体实现国产化。高纯度含氟电子气体是极大规模集成电路行业必需的清洗和蚀刻气体,在芯片制作过程中保障极大规模集成电路的生成,确保电路有效发挥作用。随着极大规模集成电路技术的提升,芯片制程向14纳米

  产业的转移倒逼着配套材料的国产化需求,为此政府给予了一系列政策支持,包括《“十三五”国家战略新兴产业发展规划》《新材料产业指南》等指导性文件,旨在推动包括电子气体在内的关键材料国产化。为承接第三次半导体产业转移,2016年至今,在政府及国家集成电路产业基金主导下,全国各地晶圆厂的投资热潮不断涌现。随着新建晶圆厂产能开始释放,电子气体作为重要的支撑材料,其需求量将会大幅增长。这为国产电子气体的快速发展奠定了良好的市场基础。电子气体指的是用于半导体、平板显示、发光二极管、太阳能电池及其它电子产品生产的基础性源材料,被广泛的应用于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺。电子气体的主要应用范围包括电子行业

  现代汽车电子已经从之前电子元器件到车内电子系统的应用进入了一个新的、有本质性改变和提高的新阶段。其中最有代表性的核心器件之一就是传感器。关于传感器在汽车领域的市场前景工采网小编曾在上一篇《2019汽车节能减排新趋势 车用气体传感器市场需求可期》文章提及,感兴趣的有车一族可以进入官网资讯查看。下面工釆网继续给小伙伴介绍一款用于汽车电子的气体流量传感器。大家都知道,传感器通常由敏感元件、转换元件和转换电路组成,其中敏感元件是指传感器中能直接感受或响应被测量的部分,转换元件是将上述非电量转换成电参量,转换电路的作用是将转换元件输出的电信号经过处理转换成便于处理、显示、记录和控制的部分。而传感器作为汽车电子控制系统的信息来源,是车辆

  上的应用 /

  近日,南大光电为布局电子特种气体业务,决定通过现金及增资的方式取得飞源气体57.97的股权。交易完成后,飞源气体将成为南大光电的控股子公司……昨日,电子材料厂商南大光电发布公告称,为了优化资源配置,提升企业的盈利能力,拟采用现金收购及增资的方式取得山东飞源气体有限公司(下称“飞源气体”)57.97%的股权。公告显示,此次受让股权及增资交易分为两个部分: 第一部分为公司以3685万元的价格受让山东桓台鲁泰道路工程有限公司持有的飞源气体此次交易前17.07%的股权;第二部分为公司以2.1亿元的价格认购飞源气体新增注册资本6268.6567万元。此次增资款中

  部分股权 /

  “在半导体领域,电动车对半导体的需求相较传统车对半导体的需求增加5-10倍。但是因为‘缺芯’,全球大约700万左右电动车没有生产。电动车是上半场,智能车是下半场,智能车对半导体的需求更大。”11月19日,比亚迪集团董事长兼总裁王传福如是说。二级市场对这番线日,汽车半导体板块走强。截至午间休盘,汽车芯片指数涨超5%(见下图)。个股中,扬杰科技涨停,时代电气、银河微电涨超10%,宏微科技、华润微、斯达半导涨超5%。扬杰科技、时代电气、银河微电、斯达半导、新洁能等多支个股创新高。智能车对半导体的需求的确更大,从数据上看,一辆传统燃油车大致需要100-200个半导体芯片,电动车在此基础上数量要翻一倍,而一辆智能化

  单片机开启嵌入式到云端之旅 系列在线研讨会

  有奖直播:DIY 家用监控边缘 AI Box——基于 8TOPS 算力,售价 199 美元的开发套件搭建深度学习案例

  【有奖直播报名】TI 最新C2000实时控制芯片 — F28003X

  直播回放: AVNET 使用 MPLAB® 生态系统和 Curiosity Nano 开发板,打造创新式的开发工作流程

  合见工软发布了一站式电子设计数据管理平台UniVista EDMPro

  站点相关:市场动态半导体生产材料技术封装测试工艺设备光伏产业平板显示电子设计电子制造视频教程别传了!成都确诊女孩照片朋友圈都是假的!当快播力推快播播放器新版50 侧重用户体验(二)